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Y方向采用四面環(huán)抱式氣浮結(jié)構(gòu)，消除了運(yùn)動(dòng)扭擺，保證了機(jī)器的高剛性，高穩(wěn)定性；

Y軸傳動(dòng)靠近運(yùn)動(dòng)中心，主支撐更輕，從而降低了運(yùn)動(dòng)部件的重量，保證了機(jī)器的高速，高穩(wěn)定性。

X軸采用航空級(jí)鋁合金三角梁，使得機(jī)器重心更低，剛性更佳，運(yùn)動(dòng)更加可靠。

Z軸和滑架全部采用航空級(jí)鋁合金材質(zhì)，保證了相同的膨脹系數(shù)，可以在更加惡劣的溫度環(huán)境下工作。

三軸和工件可選配線性溫度傳感器，可以在更寬的溫度范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高精度。